住友大阪が続伸、半導体製造装置部品の静電チャックの生産能力増強へ

　住友大阪セメント<5232>が続伸している。この日、市川事業所（千葉県市川市）において半導体製造装置の主要部品であるＥＳＣ（静電チャック）の生産能力を増強すると発表しており、好材料視されている。

　静電チャックは、半導体製造工程で静電気力を用いてシリコンウエハーを固定する半導体製造装置の主要部品。同社の静電チャックは高純度のＳiＣ（炭化ケイ素）超微粒子を原料とした高純度、高熱伝導、高耐電圧、高耐久性の特性を持ち、半導体製造装置の主要部品として数多く採用されており、今後の需要拡大が見込まれていることから、約１２０億円を投じて新製造棟建設を含む生産能力増強投資を行い、生産能力を現状の約２倍に引き上げるとしている。

出所：MINKABU PRESS