ＭｉｐｏｘはＳ高、名古屋大学との共同研究がＮＥＤＯ事業に採択

　Ｍｉｐｏｘ<5381>がストップ高まで買われ、昨年来高値を更新した。同社は１４日、名古屋大学との共同研究「半導体製造の生産性を向上させるキラー欠陥自動検査システムの開発」が、新エネルギー・産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）の「官民による若手研究者発掘支援事業」に採択されたと発表。これが材料視されているようだ。

　今回採択された共同研究は、半導体材料の品質を低下させる結晶欠陥（転位）を可視化する「複屈折イメージング」により転位の歪み分布（マッピング）をとらえ、シミュレーションと機械学習を用いることにより、炭化ケイ素（ＳｉＣ）をはじめとする半導体基板中の転位の種類や位置を非破壊で自動的に検出するシステム及びデバイスの歩留り低下をもたらすキラー欠陥を特定するシステムの開発。これらのシステムは、半導体基板やパワーデバイスの飛躍的な生産性向上に寄与し、将来的に日本のパワー半導体製造の標準装備となることが期待されるという。

出所：MINKABU PRESS