【材料】オキサイドが下げ幅を縮小、半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザーを製品化

　オキサイド<6521>が後場に入り下げ幅を縮小し、一時プラスに転じる場面があった。正午ごろ、半導体後工程向け高パルスエネルギー深紫外レーザーの製品化を発表しており、これを好感した買いが入ったようだ。

　主力製品である半導体ウエハー欠陥検査用（前工程）に特化した深紫外（ＤＵＶ）ピコ秒レーザー「ＱＣＷ　Ｋａｌａｍａ」シリーズに、半導体後工程に向けた高パルスエネルギーモデルを新たなラインアップとして加え、１２月１７日に販売を開始する。同製品は半導体後工程用途レーザー開発の製品化第１弾であり、半導体後工程における微細構造形成や特殊材料の選択的加工など、高精度及び低ダメージが求められる微細加工に最適なソリューションとしている。

出所：MINKABU PRESS