【材料】芝浦、半導体向け電子ビーム発生装置の名大発スタートアップと資本・業務提携

　芝浦メカトロニクス<6590>は２８日の取引終了後、名古屋大学発スタートアップで、電子ビーム発生装置を製造・販売するＰｈｏｔｏ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｓｏｕｌ（名古屋市千種区）と資本・業務提携を行い、第三者割当増資により発行する新株式を引き受けると発表した。Ｐｈｏｔｏ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｓｏｕｌが供給する「半導体フォトカソード型電子ビーム生成システム」の量産及びメンテナンスで協業する。

　芝浦はＰｈｏｔｏ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｓｏｕｌが新たに調達を予定する１０億円のうちの一部を引き受ける。半導体フォトカソード型電子ビーム生成システムは、工業用途の電子ビーム生成源として約半世紀ぶりの新方式に当たる。半導体デバイスの欠陥や構造などを検査解析する方法は光学方式と電子ビーム方式がある。芝浦によると、半導体デバイスについて光学方式では検出できないナノレベルの微細な欠陥や構造などの検査・解析の必要性が増しており、電子ビーム方式の重要性が高まっている。なかでも、同システムは従来の電子ビーム方式ではできなかった検査・解析が可能なため、半導体デバイスメーカーや装置メーカーからの引き合いが増加しており、量産体制の強化が必要となっていた。

出所：MINKABU PRESS