ウシオ電が反発、オランダ応用科学研究機構と戦略的パートナーシップを締結

　ウシオ電機<6925>が急反発。同社はきょう、オランダ応用科学研究機構（ＴＮＯ）と、次世代の半導体製造用極端紫外光（ＥＵＶ）露光技術の開発を目的として戦略的パートナーシップの締結を発表、これを好感する動きとなった。これにより、ウシオとＴＮＯは、ＥＵＶの光学系やレチクルに影響を及ぼす紫外線を研究する目的で、新しい実験的なＥＵＶ露光と分析を行なう施設を共同で建設。この研究施設の建設により、次世代の露光装置、マスク、ペリクルの開発加速化が期待される。

出所：株式経済新聞（株式会社みんかぶ）