【材料】サムコが大幅４日続伸、パワー半導体向けＡＬＤ装置を開発と報じられる

　サムコ<6387>が大幅４日続伸し、一時、前日比９０円（９．３％）高の１０６０円まで買われ、８月３１日以来の１０００円台を回復している。きょう付の日刊工業新聞で、「パワー半導体向けＡＬＤ装置を開発・販売」と報じられており、これを好材料視した買いが入っている。
　ＡＬＤ（原子層堆積）装置とは、正確に制御された方法で数ナノメートルの超薄膜成膜を可能にする装置。同社が開発したのは、省エネルギー効果が大きく、グリーンエレクトロニクスの要として近年期待される炭化ケイ素（ＳｉＣ）や窒化ガリウム（ＧａＮ）などの次世代パワー半導体のゲート酸化膜形成用のもので、ＳｉＣやＧａＮを使った次世代パワー半導体では高速スイッチングと高耐圧が求められ、トランジスタのゲート酸化膜をできるだけ薄く精密に形成する必要があることから、需要の広がりが期待されている。

出所：株式経済新聞（株式会社みんかぶ）